เพื่อรักษาพารามิเตอร์ที่จำเป็น เช่น อุณหภูมิ ความชื้น ความเร็วลม ความดัน และความสะอาดในห้องสะอาด ระบบปรับอากาศที่สะอาดจะส่งอากาศที่ผ่านการบำบัดจำนวนหนึ่งเข้ามาในห้องอย่างต่อเนื่องเพื่อขจัดความร้อนและความชื้นรบกวนและฝุ่นละอองต่างๆ มลพิษภายในและภายนอกระบบห้องสะอาด
ระบบปรับอากาศสะอาดโดยทั่วไปประกอบด้วยอุปกรณ์ดังต่อไปนี้
- การทำความร้อนหรือความเย็น การทำความชื้นหรือการลดความชื้น และอุปกรณ์การทำให้บริสุทธิ์
- ส่งอากาศที่ผ่านการฟอกแล้วไปยังห้องสะอาดแต่ละห้อง และอากาศหมุนเวียนนี้ต้องส่งเข้าอุปกรณ์ลำเลียงและท่อส่งด้วย
- จัดหาความร้อน ความเย็น แหล่งความร้อน แหล่งความเย็น และระบบท่อให้กับระบบ
ระบบปรับอากาศสะอาดโดยทั่วไปแบ่งออกเป็นสามประเภทใหญ่ L:
- ระบบปรับอากาศสะอาดแบบรวมศูนย์: อุปกรณ์ปรับอากาศฟอกอากาศที่จำเป็นสำหรับห้องสะอาดเดี่ยวหรือหลายห้องในระบบจะกระจุกตัวอยู่ในห้องเครื่องทั้งหมด และอากาศสะอาดจะกระจายไปยังห้องสะอาดแต่ละห้องผ่านทางท่อจ่ายอากาศ
- ระบบปรับอากาศสะอาดแบบกระจาย: มีการติดตั้งอุปกรณ์ฟอกอากาศแยกหรืออุปกรณ์ฟอกอากาศในห้องสะอาดแต่ละห้องในระบบ
- ระบบปรับอากาศสะอาดแบบกึ่งรวมศูนย์: ในระบบนี้มีทั้งห้องเครื่องปรับอากาศสะอาดแบบรวมศูนย์และอุปกรณ์ประมวลผลอากาศกระจายอยู่ในแต่ละห้องสะอาด เป็นการผสมผสานระหว่างการประมวลผลแบบรวมศูนย์และการประมวลผลแบบโลคัล
คนทั่วไปตั้งชื่อระบบตามความสะอาดของห้องสะอาดแต่ละห้องในระบบ เช่น ระบบปรับอากาศฟอก 100 คลาส ระบบปรับอากาศฟอก 1000 คลาส เป็นต้น บางครั้งก็แบ่งตามลักษณะที่แตกต่างกันโดยธรรมชาติของตัวกรองขั้นสุดท้ายของระบบ โดยแบ่งออกเป็นระบบฟอกอากาศประสิทธิภาพสูง ระบบฟอกอากาศประสิทธิภาพสูงรอง และระบบฟอกอากาศประสิทธิภาพปานกลาง